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作者	陳冠廷,
書名	設計並製作高效率圓極化熱輻射發射器以及黃光微影製程二次曝光對準測試 = Design and fabrication of high-efficiency circularly polarized thermal radiation emitters and photolithography process secondary exposure alignment test / 陳冠廷撰
出版項	2023.11


說明	84葉 : 部分彩圖, 部分彩色圖表 ; 30公分
文字	文字
無媒介	無媒介
成冊	成冊
附註	指導教授: 蕭惠心, 廖書賢
	碩士國立臺灣師範大學光電工程研究所 2023
	參考書目: 葉80-84
主題	侷域型表面電漿子共振
	圓極化熱輻射發射器
	超穎介面
	微影製程
	二次對準
	Localized surface plasmons
	Circularly polarized thermal radiation
	Metasurface
	Photolithography
	Secondary alignment
ISBN/ISSN	(平裝)

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館藏地	索書號	條碼	處理狀態
公館分館	T(M) 084-112 8729	BM0819825	限館內閱覽

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